PECVD石墨舟

PECVD作为镀膜常用的工艺之一，被广泛用于半导体、太阳能电池片的生产工艺中。作为硅片的载体，石墨是理想的材料之一，对表面膜的均匀性、色差等产生至关重要的作用，要求其有高纯度、耐腐蚀、极好的抗弯强度和良好的导电系数。

鸿钧碳素 将为客户提供高质量及高性价比的管式PECVD石墨舟及相关配件维修服务。

鸿钧碳素 能为客户提供各种不同设备上使用的石墨舟，捷佳伟创，七星华创的设备原厂均配备SHJ石墨舟。其他PECVD设备 CT，大族，赛瑞达 我公司都有各种规格的石墨舟提供。

鸿钧碳素 拥有专业的技术支持团队，可以解决客户关于石墨舟的相关技术问题。

鸿钧碳素 可根据客户的需求提供各种非标石墨舟，非标工艺点，特殊石墨隔块，特殊陶瓷件。