1、ICP刻蚀SIC托盘。（北微、爱发科、牛津及SAMCO） 2、MOCVD外延纯SIC托盘。 3、半导体刻蚀SIC零件。 4、高温耐氧气SIC炉管。（空气中耐温达到1800摄氏度） 5、dummy wafer
