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Product Detail

PECVD石墨舟

产品详情

PECVD作为镀膜最常用的工艺之一,被广泛用于半导体、太阳能电池片的生产工艺中。作为硅片的载体,石墨是最理想的材料之一,对表面膜的均匀性、色差等产生至关重要的作用,要求其有高纯度、耐腐蚀、极好的抗弯强度和良好的导电系数。

SHJ 将为客户提供高质量及高性价比的管式PECVD石墨舟及相关配件维修服务。

SHJ 能为客户提供各种不同设备上使用的石墨舟,捷佳伟创,七星华创的设备原厂均配备SHJ石墨舟。其他PECVD设备 CT,大族,赛瑞达 我公司都有各种规格的石墨舟提供。

SHJ 拥有专业的技术支持团队,可以解决客户任何关于石墨舟的相关技术问题。

SHJ可根据客户的需求提供各种非标石墨舟,非标工艺点,特殊石墨隔块,特殊陶瓷件。